支持雙臂機器人和預對準系統(tǒng)的集成和全自動化，晶圓尺寸涵蓋100mm~300mm，在支持高精度檢測的同時，提供高WPH效率，支持選裝2D/3D模塊化光學系統(tǒng)。標準模塊2D系統(tǒng)，可達到250nm的表面缺陷檢測和50um的金屬凸點直徑或高度檢測，可實現在線數據收集與統(tǒng)計，便于客戶進行生產效率與品質的分析與優(yōu)化，以達到可視化生產管理。